真空矩形阀

简要描述：真空矩形阀广泛应用于半导体、光电产业之镀膜设备，安装于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与制程腔室（process chamber）等需要真空与压力分隔的地方。

产品型号：
厂商性质：代理商
更新时间：2025-07-17
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产品分类

详细介绍

品牌	其他品牌	产地	进口
加工定制	否

产品应用

Htc真空矩形阀是采用了直连驱动技术的真空阀，外形尺寸小，设计紧凑，所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝，可减少粉尘产生，并提升产品的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护，封板快速拆装设计易维修等优点。

设计原理/特征

l 低振动及低粉尘设计(Low vibration and Low particle)

l 利用凸轮机构与弹簧完成封板封合动作。

l 双气压缸、单出力轴驱动。

l 驱动轴杆封合顶紧辅助装置。

l 无气压时的封合自锁保护装置。

l 封板快速拆装设计，方便O-ring维修更换。

l 100 万周期寿命。

真空矩形阀分类

l 标准型矩形闸阀(Standard Rectangular Transfer valves)

l 标准型矩形门型闸阀(Rectangular doors)

l 大型矩形闸阀(Large rectangular transfer valves)

l 大型矩形门型闸阀(Large rectangular doors)

Body 材质

铝合金或不锈钢(Aluminum or Stainless)

Body 表面处理

电解抛光 or 铝硬阳处理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)

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真空矩形阀

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